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gao分辨聚焦离zi束扫描电镜XEIA

mg不朽情缘


新一代超gao分辨双束聚焦扫描电镜工zuo平台

        XEIA3,是一款独te的ji多种gong能于一体的新型双束聚焦(XE)扫描电zi显微镜,它性能you异,为用户提供完美的整体解决方案。XEIA3bujinpei有大gong聅hi命/span>FIB以进行超快su的微米huo纳米jiqie割,huaijubei出色的低能粒zi束成像能li,同时亦可以进行快su可靠地显微分xi以及yangpin分xi的3D重建。


shuo明| 基本can数| 性能

 关键can数te征
gong能强大的SEM电zi光xue系蚦hang捎胓ao亮度的Schottky发射器为电zi源,ju有束流大,噪点低,非凡的成像能li等te点
 In-Beam探测器能够确保在极小的工zuo距离下仍能shoujixin号,进行gaopin质成像
 采用Xe等离zi体源的超快suFIB系tong 束流大,ju觴in猺en的离zi束qie割su度,因此在qiechu大体积块zhuang材料时卓有成效;同时较低的离zi束流便于完成yangpinbiao面抛光
电zi束减su技术(BDTzhuli于进行超低着陆电ya下的完美成像
隔离材料的zhi入、掺zahuo降解更少,zhe点秡a赽an导体行业xiang当重要
SEMyu FIB两系tong互补,即使用FIB进行yangpinqie割huo沉积时,可同时进行SEM成像拍照
TESCAN电镜独有的各种自动huacaozuo技术,如In-Flight Beam TracingTM技术可通过计算精确的调节gao分辨率成像所xu的can数设zhi(例如工zuo距离WD、放大bei聅hi龋?/span>
DrawBeam 软件模块是一个便于进行图案设计的工ju,3Dgong能亦很强大,使用它可在FIBqie割huo粒zi束蚀刻等过程可shi时获取图像
3D EDX3D EBSD等三维显微分xi技术带laiquan新的解决方案
独家ji成了fei行时间二ci离zi质pu(TOF-SIMS)yu 扫描探针显微技术,可扩展的大yangpin室,使用户能够进行6’’8’’ and 12’’ 的晶片光刻检验12’’ 晶片光刻检验是TESCAN电镜独有的技术能li
气体注入系tong (GIS) 有zhu于使FIB完成更多应用
gao性能的电zi成像能li,其成像su率可gao达20 ns/pxl, 同时jubei出色的沉积su聅hi俺斓纳鑣u度

涡轮分zibeng及前jibeng的gao效能有利于保持yangpin室的清洁度;电ziqiang通过离zi吸气beng获得真空


  为用户xu求提供ju体解决方案


TESCAN公司bujin为用户提供行业领先的先进仪器设bei,而且长期致li于为yan究zhe提供最大的技术支持以推动ren类科xueyu技术的进步 XEIA3新型电镜的推出,彰蟳ue庶/span>TESCAN的zhe份使命感。同时,zhe点ye体现在TESCAN积极地为用户提供quan方位的定制hua服务上。TESCAN愿携shoulai自材料/生命科xue以及ban导体/工程等诸多行业领域的yan究ren员,共同迎接未lai的挑战。


  Xe等离zi体源,极大地扩展FIB的应用能li


XEIA3型电镜为双束聚焦扫描电zi显微镜,同时ji成了以Xe等离zi体为离zi源的FIB系tong和ju有超gao分辨聅hi命/span>SEM系tong。FIBSEM两系tong的协同zuo用,能够完成一项迄今为止尚未shi现的gong能——以极快的su度进行大块材料的FIBqie割去chu。同时,SEM电zi显微系tongju有低于2nm的极佳分辨率,能够帮zhu科xueyan究huogao科技产业kai发并完成更多的应用。而且,大束流的等离zi体离zi源ye能大大扩展gai电镜的使用fan围,帮zhu用户完成更多工zuo。



  应用shi例


ban导体和微电zi领域


Xe等离zi体源的FIB系蚦hang芄晃没峁└涌靤u便捷的技术shou段,使其更好地利用能pu(EDX)、波pu(WD)等huaxue成分分xi方法,更能够充分发挥3D EDX3D EBSD的gong能及te点。同时,XEIA3huai能够da载fei行时间二ci离zi质pu(TOF-SIMS),用于进行you异分辨聅hi腷iao面分xi。以上可知,XEIA3是一个gong能超jiquan面的分xi平台,其在材料科xue领域所呈现的yan究能li显而yi见。


    新材料及其形貌biao征的yan究
               晶体、陶瓷及gao分zi等非导电材料yan究
   复za结构碳纳米管的图案结构guan察
 
            碳纳米管                             Ag纳米线

  材料科xue


XEIA3双束聚焦离zi束扫描电镜pei有大gong率Xe等离zi体源FIB系蚦hang瑃ebie适heban导体和微电zi行业的检测和应用。用户可采用大束流进行快suFIBqie割,大束流ye适用于制bei材料bo层qie片huoqie割较大横jie面;使用中等束流进衳in坠猓⑷hubiao面加工hen迹;小束流用于进行qie割jie面huobo层qie片最后的精抛光。另外,FIB进行离zi刻蚀能够获得更好的蚀刻图案分辨率。


 


             制beibo片yangpin                                  钎han隆起界面细节guan察 

  生命科xue


XEIA3聚焦离zi束扫描电镜的超强成像能li,能够在自然zhuang态下对多种生物yangpin进行guan察、成像。生物yangpinbuxu要喷涂导电层,yebu用进行huaxue固定,因此整个分xi过程大大简hua,非chang便于用户caozuo。



    微生物xue
    生物医xue工程
    生物细胞yu组织xue
    细胞jian定
    制药xue及制药工程
    动lixue过程的yan究,如物质晶huahuo溶解等过程
    颗粒物te性yan究,如颗粒尺寸、kong隙率、颗粒结构及wu染物等

   
               皕i蟠竽宰橹        一组纤维母细胞细节guan察

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